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一种检测三氟化氮气体的方法
作者：杜海波 田亮亮 王祥斌 苗英俊 牛巧云
来源：《科技传播》2014年第14期
摘 要 提出了采用高温热裂解+电化学传感器进行三氟化氮气体检测的方法，克服了使用催化材料作为裂解器生成二次产物多，测量精度低的缺点。实验数据证明，该检测方法灵敏度高，检测限低，能够检测到最低0.1ul/L的三氟化氮气体，量程范围为0 ul/L～30ul/L。预热时间仅为5min ，能够大大缩短等待时间。
关键词 高温热裂解；三氟化氮气体；电化学传感器
中图分类号 TB85 文献标识码A 文章编号 1674-6708（2014）119-0136-03
0引 言
三氟化氮是一种工业特种气体，其主要用作推进剂（火箭）、氟化剂、电子气、等离子蚀刻及用于掺杂、激光、光导纤维。尤其是在目前发展较快的微电子领域，它可以作为一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氧化硅蚀刻。采用三氟化氮比四氟化碳和氧气的混合气体具有更高的蚀刻效率和选择性，而且对表面无污染，在被蚀刻物表面不留任何残留物质，同时也是非常良好的清洗剂。
随着近年来电子及光伏产业的飞速发展，对于三氟化氮气体的需求增长也承迅猛之势。但是三氟化氮是一种毒性物质，但是它能强烈刺激眼睛、皮肤和呼吸道粘膜，腐蚀组织。易与血红蛋白反应，吸入人体后危险较大。与爆炸性气体、氧化剂、水和蒸汽混合物加热时，在火花或明火条件下发生爆炸。在大气中的最高容许浓度：10ul/L（29mg/m3）。同时，三氟化氮被列为温室气体，其制造温室的能力极强，其存储热量的能力是二氧化碳12000～20000倍，在大气中的寿命可长达740年之久。能在大气中维持550年，主要在生产液晶电视时排放，目前排放量为每年4000t 。
综上所述，对生产的三氟化氮气体的泄漏进行监测，既可以保证生产人员的安全、保证充装三氟化氮钢瓶的无泄漏，又能杜绝三氟化氮气体产生的温室效应。因此，开展对三氟化氮气体的监测工作势在必行。
1国内外现状
通过调查发现，目前国内还没有完全能满足要求的三氟化氮检漏仪产品，国内某公司的的三氟化氮报警探头，最小只能检测到50ul/L，且检测精度不高，而规定的允许值只有10ul/L，因此完全达不到要求，而其他厂家未见国产的相关产品。目前三氟化氮检漏报警的相关产品主要来自于日本和美国。日本某公司生产的三氟化氮报警仪产品检测范围为0ul/L～30ul/L，但仅仅作为泄漏报警器使用，检测精度不高，预热时间至少为半小时，使用不方便。美国IST 公司
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一种检测三氟化氮气体的方法
作者：杜海波 田亮亮 王祥斌 苗英俊 牛巧云
来源：《科技传播》2014年第14期
摘 要 提出了采用高温热裂解+电化学传感器进行三氟化氮气体检测的方法，克服了使用催化材料作为裂解器生成二次产物多，测量精度低的缺点。实验数据证明，该检测方法灵敏度高，检测限低，能够检测到最低0.1ul/L的三氟化氮气体，量程范围为0 ul/L～30ul/L。预热时间仅为5min ，能够大大缩短等待时间。
关键词 高温热裂解；三氟化氮气体；电化学传感器
中图分类号 TB85 文献标识码A 文章编号 1674-6708（2014）119-0136-03
0引 言
三氟化氮是一种工业特种气体，其主要用作推进剂（火箭）、氟化剂、电子气、等离子蚀刻及用于掺杂、激光、光导纤维。尤其是在目前发展较快的微电子领域，它可以作为一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氧化硅蚀刻。采用三氟化氮比四氟化碳和氧气的混合气体具有更高的蚀刻效率和选择性，而且对表面无污染，在被蚀刻物表面不留任何残留物质，同时也是非常良好的清洗剂。
随着近年来电子及光伏产业的飞速发展，对于三氟化氮气体的需求增长也承迅猛之势。但是三氟化氮是一种毒性物质，但是它能强烈刺激眼睛、皮肤和呼吸道粘膜，腐蚀组织。易与血红蛋白反应，吸入人体后危险较大。与爆炸性气体、氧化剂、水和蒸汽混合物加热时，在火花或明火条件下发生爆炸。在大气中的最高容许浓度：10ul/L（29mg/m3）。同时，三氟化氮被列为温室气体，其制造温室的能力极强，其存储热量的能力是二氧化碳12000～20000倍，在大气中的寿命可长达740年之久。能在大气中维持550年，主要在生产液晶电视时排放，目前排放量为每年4000t 。
综上所述，对生产的三氟化氮气体的泄漏进行监测，既可以保证生产人员的安全、保证充装三氟化氮钢瓶的无泄漏，又能杜绝三氟化氮气体产生的温室效应。因此，开展对三氟化氮气体的监测工作势在必行。
1国内外现状
通过调查发现，目前国内还没有完全能满足要求的三氟化氮检漏仪产品，国内某公司的的三氟化氮报警探头，最小只能检测到50ul/L，且检测精度不高，而规定的允许值只有10ul/L，因此完全达不到要求，而其他厂家未见国产的相关产品。目前三氟化氮检漏报警的相关产品主要来自于日本和美国。日本某公司生产的三氟化氮报警仪产品检测范围为0ul/L～30ul/L，但仅仅作为泄漏报警器使用，检测精度不高，预热时间至少为半小时，使用不方便。美国IST 公司