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： 天津业技职术 范师大学 研发展 科基金资助项 目（项目 号 ：编 ＹＳ－０１ ） ＪＯ 摘要９ 随：压力传感着的厂器应用 ，列压力泛感器传的度精要求越越高 ，由来温度是影于压响力传器感精确
度
主要原的因， 减以小由 度温漂移 所造成 测量的差是 需误解要 的问决。题 所 本设文计了种基于一格拉朗 日
值的压力传差器温度感漂补移偿件软算法 。该方法 单简实 用，日同 量测用引差误可以制控在 ０６． 寸２ 以内 ％ ，全可完满足实际的以要 需 。 键词关：压力传感器 ； 度漂移温偿补 软；算件法 中图类分 号：Ｐ２Ｔ ２１ １ 文标献识 ：Ａ 码文章号 编１０ ：８ ３—（０ ０） ０— ２— ４ ６ ８０Ｘ ２１ １ ４ ３ ０ ０
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半导体材着 料的高发速展 ，目前 由 导半材体料制 的硅成 阻式压力传感压得 到器广的应泛用 ，硅阻压式
压力
传感器的【感元敏件 由是性弹体应和片合为变一 ，体这传感器种的 敏度 、分辨灵 力，高 且无因 需胶而滞 接 ］迟
、蠕变 、 化老 象现小 ， 稳 定 性 。但 是好 当 度 温发生 变 化 时，半 导 体 的 性 参 数特将 生发 显著 的 变 化，产生 温 度漂 移， 所 以必 须 进行 温度 漂 补移 偿以提 高 压 阻 式 压 力 感 器 的 测 传 精 度量 。压 阻 式 力压 感传器 可通以 过 软 件 硬和件 两种 径 进 行途 温 度 移 漂补 偿。 硬 件 方 就法是 斯惠 通 电 的桥 桥臂 上 补 偿 电
，从阻 消 而 由除桥 臂 上 四 个 阻 不电 匹配造 成 零 的 漂点 移 及以 由温 度 成造 的 温度漂 移 。但 这 种是方 法存
在 调 试 困难 、 精 度 低 通 、用性 差 、 成 本 高等缺 ，不点 利 工于程 实 应 际 用软。件 补 偿 法 算 主要 是通 过 实 验的 法方 确 定 压来 力传 感 器 的 态 静 性 特然，后 利 用 前 的当各 种微 处理 和 器 富丰的 软 件 资源分 析 并 处 压 力 传 感理 器 的 特性 数参，拟 合出误 差 较小 函的数 关 系 式。 前当软 件 算 通法常 采 用二 元 非线 性回 归 和法 神 网经 络算 法 二。 元
非线 性
回归法法方单简，虽然 以可高提压力传感 器的测量度精， 精但 度不 高。经 网络算 神法然虽精 度高很 ，
但 这 方 法 种 计算量 较 大 ， 对 处理 器 要 较 求高 需， 有 要 大 的 内存较， 不太 适合应 于 普 通用 的单 片机内， 这 种 方
法 比较 适 合 于上位 机
监 控 的压力 传 感 测 试 系器 统 。 文本设 计 了 一
种
计 算 单 的 温简 度 补偿 的 软 件算 法 一 小最二 乘 法 和 拉 朗 曰差 值格 相结 合 方的法 这。种 算 法 计 算 量小 ，计 算 速 快度 引， 用差 误在
０ ２ ％ 以 ， 内 较比适 合 于 比 较廉 价 的 单 片 机 （ 如 ８ Ｃ 的 １ ． 应６例 ９ ５）
。用
二 压 阻、式 压 力传 感 器 工 作原 理及 温 误度 差 分 析
压１力 传 感器 原 理 、 压阻 传式 器感是 利 用半 导 体 材 料 在外 作力用 电 阻下率 发生 变 化 的性质 制 成 的 ，它 在 半导 体硅 材 料的基 底 用 上成 集工 艺 散 扩 电 ，阻集成在 硅 片 的 上个四等 值 电阻 连 成 惠２ １
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ｃｔｎｏ ｌ ｙｗ ｉ ｌｅ ｈ ｏ ｇ ｌ ｐ ｒｉｅ ｗ ｉ ａ ｐ ｌ ｔｃｎ ｏｏ ｓｍ ｄ ｅ ｉｐａｉ ｐ ｒｅ ｐ ｔｉ ｔ ｏｓ ｃ ｈｅ ｎｓ缸 ｃ Ｌ ｕａ ｅｔ ｏ ｔ ｒｎｇ ｆｄｅ． ｔ ｌｌ ａｌ ｈ ｎｍｉｏｉ ｌ ｒ ｈ ｉ Ｋｅ ｗｏ ｓｄ： ＰＰＰ ｙ—ｒ ＢＯ Ｔ Ａ Ｄｆ ｒ－ Ｐｅ Ｐｕ ｍｐＰ ｕｓ ｒｌｏ Ｂｎ ｅｌ ｉｌ ｉ ｕＯ ｐｉａ ｃｔｌ
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Ｓ ｅｙ ｌｉＥｑｉｍ ｔＩｅ ｓｃｉ ｎ ａ ｄＲ ａ ｃｓ ｎｔ ｕｅ ｅＢｉ ｇ ｃｐ ｕｐａｎ ｎｐｅ ｔｎ ｅ ｅ ｒｈ Ｉ ｓｉｔ ， ｏ ｊｔ ｎｉ １ １ ， Ｃ０ ａｉ）０ ０３ ｎ
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ｅ 者 简 介 李 德 桥 ，中作 北 大学 信 息与 通信 工程 学院 ／ 国特种 设 备 检 测研 中
究 ，院硕 研 究士生 ，现 从 分事 式布光 纤 传感 器 在结构 健 康监
ｃｔ ｎｌ ｇ ａｅ Ｐ Ｐ ｎＢＴ Ａ ｒ（ ｕ ｐ Ｐ －ｌ ｒ ｌ ｕ ｅｎｈ ｏ ｙｏｂ ｓ ｄｏ Ｐ － Ｏ ＰＤｅ ｍ Ｐｕｓ Ｂ ｉｏ ｉ － ｅ－ｌ Ｏｉｐ ｉｌ ｏ ｉ Ａ ｓ ） ｓ ａ ｅ ｉ ｄ ｏｒ ｉｅｓ ｇ ｔ ａＴｍ ｅＤ ａｍ ｎ ｌ ｉ ｉａ ｎ ｋｗ ｎ ｔ ｆ ｎ ｎ ｓｉ ｃ ｎ ｓ ｙ ａｓ
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测应用上的究研
通 讯。地 ： 址 京北 市 朝 阳区 和 平街 西 苑号 ２ 中特国 种 备设检 测
ｔ ｎ ｉｔ （Ｓｔ ｌ ｅ ｌｕｎｒＳ ａ ｅｉ ｇ ｒｓ ｅ ｔ ｌ ｓ ｒｎ ＢＳ Ｓｉａ ｄ Ｂ ｉ ｏｉ ｃ ｔ ）ｒａ ｅｖｏ ｄｗ ａｉ ｅ ｍ ｔ ｕ ｌ ｎｔ ｈｉ ｉ
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究研 院 Ｃ１室 邮 编 １： ０ １ １ ００２ Ｅ ｍ３ａ ｌ：ｅ ｉ ２ ＠０１６ ｃ － ｉｒ ｑｉ ａ０９ ２．ｎ ｌ ｄ ｏ ｏ丁克 勤 ， 中 国 特 种 设 备检测 研 究 院 ， 究 员研 ，研 方究向 ： 先进
传 感 技术 在 特 设种 上备 的应 用 。
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王飞 中，北 大 学 信 息 通与 信工 程 学院／ 国 特 设种 备检 测 究研 院 中， 硕研士究 生 ， 研 究方 ：向分布 式 纤 光 感 技传 术
者 服读 务卡 编 ０号 ５ ６０［ ］
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参考 献
［文 贤 ］武 ，黄１ 郑 霞 筱． 器感 际 应实 用电 路 设计［ ． 传 Ｍ四Ｉ ：川电 科子 技 大学
出 版社 ， ９７１９
Ｌ ｒ ａｎｅＳ ｉｔ ｒ ｏ ａ ｎｉｉ ｇ ｖ ｎｗｈ ｃｓ ｓｅ ， ｆｓ ａｌｄ ｃ ｎ ａ ｇｇ’ ｎ ｐ ｌｔｅ ｏｓ ｉ ， ｅｈｉｉ ａｙ ｅｕ ｕ ｎ ａ
ｃｎｔ ｏｈｅ ｅ ｒｌｒｓ ｈ ａ６ ．２ｔ ｎ ｃ ｅ ｍｔｔ ｅ ｕｅ ｅｉｔ ｏ ｒｌ ｔ ｏ ｅｒｓ ｔｎ ０． Ｉ ％ ａ ｅ ｈ ｅｒｑ ｒ ｍ ｎ ｓｏｆ ｒｐｃ ｉ ｐ ａｉ ａ ｎｓｉ ａ ｔ．ｃ ｌａｐ ｌ ｃｏ Ｋｔ ｗｅ ｏｒ ：ｐ ｅ ｓｅ ｎ ｓｏ ；ｔ ｍｐ ａｕｒ ｆｓ ｔｃ ｅｍｐｅ ｓ ｔ ｏ ｙ ｄ ｓ ｒｕｒ ｓｅｓ ｒ ｅ ｒ ｔ ｅｏ ｅ ｏ ａｉ ｎｎ；ｓ ｔ ｒ ｔｒｍｅ ｉ ｏｆｗ ｅａａ ｉ ｔｈ
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】 明 威 ，家海 阻 ．式 力 传 感 器压 度 温 误差 的数 补 偿 字 术 技］［２ 郭 朱 Ｊ．
仪压 技 表 术 与传 感 ，０器８ （）７—７２ ０ ，： ６ ７ ５
］ 智 星 ［ Ａ．ＡＢ 程 序设 计与 应 ［ 用北．京 ： 清 华 大 学出版 社 ３ 张Ｍ ＬＴＭ 】［
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庆扬 ，］能 超． 值 分 ［析． 北 ： 华 中科 技 人 出学 社 １８ 版李４ 数王 Ｍ］ ９湖
作 ２ 者 介简 刘 新月 ， 津 职 业 技 术师范 大学电 工 子程 学院 ，士 研 究生 ， 天硕
Ｔ ｅ ｅｐ ｔａｅ ｍ ｃ ｕｒｒ ｍ ｐｅｏ ａｔ ｏｓ ｌ ｉ ｆ ｐｒ ｓｒｕ ｓ ｎｓ ｎｓ ｉ ｎ ｕｔｏｏｎｏ
ｒ ｅｓｅ ｅ ｒｏ
助
教专 业 ，方 向为 感传器 与 机 微自 动 控制
ｂ ｓａｄ ｏｎｌ ａ ｎｇ Ｓｉ ｐｅｏ ｔｏｎ ａｅ ａｇ ｅｒ’ｎｔ ｒ ｌｉ ＩＬ ｉ ｙ Ｕ ｎ—Ｘｕ ｅ， Ｉ Ｌ Ｇｉ ｆｇ ｎＮ Ｃ—ｅ
通 ａ 信 址地： 天津 职业 技术师 范 大 学电子 工 程学 院
邮 编３ ０： ２ ０２
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ｖｎｒｉ ｏｈｅ ｏｏ ｎｙ ｃ ｔ ｄｎ ｎＴｉＴ ｎ ｉａ ｉ Ｕｓｙ ｆＴｃ ｌ ｎ ｄ ａ Ｅｕａｉ ， ｉ ｊ ｎｅ ｇｔ ｏ ａ
０３ ２ ｈｎ， ） ０ ２２Ｃ ｉ
Ａｂｓａｒ ｃ ：Ｗ ｉｈ ｔｉ ｐｉ ａｉ ｏｆｔ ｎ ｓ ｒｕｅｓ ｓｎ ｒ， ｅ ｔｈ ｔａ ｔｈｅｗｄｅａ ｐ ｌｃ ｏｔ ｈｅｐ ｓ ｒｅ ｅｏｓ ｔ
ｑ ｒｒｍ ｅｓｆ ｒ ｔ ｅ ｉｉ ｅ ｏ ａｒｅ ｈ ｇ ｒ ａ ｉ ｈｅ ． ｅ ｕｅｉｎ ｔ ｏ ｈｅｐｒ ｓｏｃｎ ｆｏｓｎｓ ｒ ｉ ｈｅ ｎｄｈ ｇ ｒ
ｍＥａｘｌ ａｘ ｌ０ａ ｓ ＠ａ ｏ ｉ ｉ ｉ— ｏ４１ｉ ．ｒ ： ｏｎ ｃｎ 梁 彩风 ， 津 职天 技 业术 师范 大 学讲师 ， 硕研士 究生 ，主 要 研 究 向方 超为宽 带无 线 术 技 。
读者服务卡号编５００ 口
ｅＢ ａ ｓ ｈ ｅｅ ｕ ｅａｓ ｈ ｕ ｃｅ ｔ ｅｔ ｍｐｒ ｔｒ ｉ ｔ ｍａｅ ａ ｔ ｒｎｉ ｆｕ ｎｉ ｇ ｈ ｉｆ ｃ ｏ ｎ ｃｎ ｅｔ ｅｌ
ｐｅｓｃ ｏ ｆ ｐｒ ｓ ｏ ｕｅｅ ｒｏｈ ｒ ｉｉｎ ｅｓ ｒ ｓ ｎｓ ，ｏｗ ｔ ｒ ｅｄ ｈｅ ｒｆｏ ｍｏ ｅ ｕ ｔ ｃｅｒｏ ｒｒ
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压１力 传 感器 原 理 、 压阻 传式 器感是 利 用半 导 体 材 料 在外 作力用 电 阻下率 发生 变 化 的性质 制 成 的 ，它 在 半导 体硅 材 料的基 底 用 上成 集工 艺 散 扩 电 ，阻集成在 硅 片 的 上个四等 值 电阻 连 成 惠２ １
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测应用上的究研
通 讯。地 ： 址 京北 市 朝 阳区 和 平街 西 苑号 ２ 中特国 种 备设检 测
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究研 院 Ｃ１室 邮 编 １： ０ １ １ ００２ Ｅ ｍ３ａ ｌ：ｅ ｉ ２ ＠０１６ ｃ － ｉｒ ｑｉ ａ０９ ２．ｎ ｌ ｄ ｏ ｏ丁克 勤 ， 中 国 特 种 设 备检测 研 究 院 ， 究 员研 ，研 方究向 ： 先进
传 感 技术 在 特 设种 上备 的应 用 。
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王飞 中，北 大 学 信 息 通与 信工 程 学院／ 国 特 设种 备检 测 究研 院 中， 硕研士究 生 ， 研 究方 ：向分布 式 纤 光 感 技传 术
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参考 献
［文 贤 ］武 ，黄１ 郑 霞 筱． 器感 际 应实 用电 路 设计［ ． 传 Ｍ四Ｉ ：川电 科子 技 大学
出 版社 ， ９７１９
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作 ２ 者 介简 刘 新月 ， 津 职 业 技 术师范 大学电 工 子程 学院 ，士 研 究生 ， 天硕
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教专 业 ，方 向为 感传器 与 机 微自 动 控制
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通 ａ 信 址地： 天津 职业 技术师 范 大 学电子 工 程学 院
邮 编３ ０： ２ ０２
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ｍＥａｘｌ ａｘ ｌ０ａ ｓ ＠ａ ｏ ｉ ｉ ｉ— ｏ４１ｉ ．ｒ ： ｏｎ ｃｎ 梁 彩风 ， 津 职天 技 业术 师范 大 学讲师 ， 硕研士 究生 ，主 要 研 究 向方 超为宽 带无 线 术 技 。
读者服务卡号编５００ 口
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