离子注入机操作方法
1 打开真空计（先开左边开关，再打开右边开关，左边表盘为低真空，右边表盘为高真空. 可以换挡最后抽到本底真空--*10-3pa 以下，本底气压越高越好） →打开机械泵→电磁阀1(抽到2Pa 以下, 需要几分钟时间) →电磁阀2
2 在控制柜后面的所有开关都打开→分子泵电源开→关电磁阀1
3合头部电源（绿为开，红为关）打开→供气 小流量N2量程0—10sccm (2.5sccm起弧)/大流量0---100sccm （He 60sccm 起弧）→打开电弧电压（70V 左右）→灯丝电源电流(10A左右) →引出电压；引出电流(根据实验需要可任意加) →抑制电压1000V 左右, 抑制电流越小越好，最好是0→打开加速电源(10—100KV , 可根据实验需要参数设定来调节) 100kV —10mA 为最大参数 。灯丝电源和电弧电源可以调节加速电流，加速电源控制加速电压，可以按需要进行调节到自己想要的。
4 如果出故障 小红灯闪 按下控制柜上面的大红色按钮和上面的黄色按钮停止工作，等一会再试试，如果还不行就全都关了，找老师检修。
5关机步骤
1） 控制柜关
先关抑制电源→10多秒之后将引出电源（左旋降到0）关掉→电弧电源（左旋降到0）关掉→灯丝电源(最好不要超过15A) （左旋降到0）
关掉→流量（左旋降到0）关掉→合头部分电源关掉（按红色按钮）
2） 关掉真空计 （先右下角开关，再关左下角开关）
3） 关闭分子泵 红色Stop →关电磁阀2→关机械泵→关总电源→
控制柜后面所有开关都关掉。
离子注入机操作方法
1 打开真空计（先开左边开关，再打开右边开关，左边表盘为低真空，右边表盘为高真空. 可以换挡最后抽到本底真空--*10-3pa 以下，本底气压越高越好） →打开机械泵→电磁阀1(抽到2Pa 以下, 需要几分钟时间) →电磁阀2
2 在控制柜后面的所有开关都打开→分子泵电源开→关电磁阀1
3合头部电源（绿为开，红为关）打开→供气 小流量N2量程0—10sccm (2.5sccm起弧)/大流量0---100sccm （He 60sccm 起弧）→打开电弧电压（70V 左右）→灯丝电源电流(10A左右) →引出电压；引出电流(根据实验需要可任意加) →抑制电压1000V 左右, 抑制电流越小越好，最好是0→打开加速电源(10—100KV , 可根据实验需要参数设定来调节) 100kV —10mA 为最大参数 。灯丝电源和电弧电源可以调节加速电流，加速电源控制加速电压，可以按需要进行调节到自己想要的。
4 如果出故障 小红灯闪 按下控制柜上面的大红色按钮和上面的黄色按钮停止工作，等一会再试试，如果还不行就全都关了，找老师检修。
5关机步骤
1） 控制柜关
先关抑制电源→10多秒之后将引出电源（左旋降到0）关掉→电弧电源（左旋降到0）关掉→灯丝电源(最好不要超过15A) （左旋降到0）
关掉→流量（左旋降到0）关掉→合头部分电源关掉（按红色按钮）
2） 关掉真空计 （先右下角开关，再关左下角开关）
3） 关闭分子泵 红色Stop →关电磁阀2→关机械泵→关总电源→
控制柜后面所有开关都关掉。