仅仅反映固体样品表面形貌信息的物理信号是(

一、选择题

1. 仅仅反映固体样品表面形貌信息的物理信号是（）。

A. 背散射电子；B. 二次电子；C. 吸收电子；D.透射电子。

2. 在扫描电子显微镜中，下列二次电子像衬度最亮的区域是（）。

A.和电子束垂直的表面；B. 和电子束成30º的表面；C. 和电子束成45º的表面；D. 和电子束成60º的表面。

3. 可以探测表面1nm层厚的样品成分信息的物理信号是（）。

A. 背散射电子；B. 吸收电子；C. 特征X射线；D. 俄歇电子。

4. 扫描电子显微镜配备的成分分析附件中最常见的仪器是（）。

A. 波谱仪；B. 能谱仪；C. 俄歇电子谱仪；D. 特征电子能量损失谱。

5. 波谱仪与能谱仪相比，能谱仪最大的优点是（）。

A. 快速高效；B. 精度高；C. 没有机械传动部件；D. 价格便宜。

二、判断题

1.扫描电子显微镜中的物镜与透射电子显微镜的物镜一样。（）

2.扫描电子显微镜的分辨率主要取决于物理信号而不是衍射效应和球差。（）

3. 扫描电子显微镜的衬度和透射电镜一样取决于质厚衬度和衍射衬度。（）

4. 扫描电子显微镜具有大的景深，所以它可以用来进行断口形貌的分析观察。（）

5.波谱仪是逐一接收元素的特征波长进行成分分析；能谱仪是同时接收所有元素的特征X射线进行成分分析的。（）

三、填空题

1. 二次电子、透射电子等物理信号。

2. 扫描电子显微镜的放大倍数是显示器上的扫描宽度与样品上的扫描宽度的比值。在衬度像上颗粒、凸起的棱角是亮衬度，而裂纹、凹坑则是暗衬度。

3. 100nm以上。

5. 扫描电子显微镜可以替代光学金相显微镜进行材料表面形貌观察，也可以对断口进行分

析观察。

四、名词解释

1. 背散射电子、吸收电子、特征X射线、俄歇电子、二次电子、透射电子。

2. 电子探针、波谱仪、能谱仪。

习题

1. 扫描电子显微镜有哪些特点？

2. 电子束和固体样品作用时会产生哪些信号？它们各具有什么特点？

3. 扫描电子显微镜的分辨率和信号种类有关？试将各种信号的分辨率高低作一比较。

4. 扫描电子显微镜的放大倍数是如何调节的？试和透射电子显微镜作一比较。

5. 表面形貌衬度和原子序数衬度各有什么特点？

6. 和波谱仪相比，能谱仪在分析微区化学成分时有哪些优缺点？