6.772/SMA5111 -化合物半导体
Lecture 17 –矩形波导/光子晶体和辐射复合 – 概要 介质光学 (继续Lecture16的讨论)
平板型波导
矩形波导的组合结构 耦合器,滤波器,开关
光子晶体
历史: 光子带隙和Eli Yablonovich, 至今 一维光子晶体
分布式布喇格反射器 光子光纤; 完美的反射器
二维光子晶体
光波导结构 缺陷等级
二维光子晶体
复合过程 ( LED 和 LD 的预备知识)
辐射型和无辐射型 相对载流子寿命
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 1 半导体中的吸收 -间接能带间的跃迁
有声子参与的间接带隙吸收
声学声子和光学声子的色散曲线
几种半导体光声子的近似能量
Ge: 37 meV Si: 63 meV GaAs: 36 meV
(Swaminathan and Macrander)
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 15 - Slide 2
平板介电波导
TE-模的本质 (电场只有y方向分量). 对于平板波导中的j阶模,电场强
度如下:
在这个方程里:
ω: 频率/光的能量
2πω=υ=c/λ0 λ0: 自由空间里的波长 βj: j阶模的传播常数 Xj(x):平板横截面内的模,
满足:
这里:
ni: 区域 i 里的折射率
k0 : 自由空间里的传播常数
k0=2π/λ0
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 3
平板介电波导
在处理平板波导的问题时,我们假设波导中各区域的尺寸和折射率,以及自由空间中的光波长或频率已知,所需要求解的为波导中的传播常数,βj. 我们发现,只有βj取某些离散值时,方程Xj(x)才有解。且每一个值对应着平板中存在的一个模。
在波导方程里面,我们希望在平板上下两个区域里,βj
满足
平板内部满足
当这些条件得到满足时,Xj(x)将,在波导外围空间,为逐渐衰减的 指数函数,在波导里面,为正弦函数,并且模式受到限制。
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 4
平板介电波导
对称/非对称波导里面的模式和图表
(图删除)
见 Figures 4-5, 4-7, 4-8, and 4-9 in Palais, Joseph C. Fiber Optic Communications.
4th ed. Upper Saddle River, N.J. : Prentice Hall, 1998. C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 -Slide 5
矩形介电波导 – 模式求解问题
通常,任意矩形波导的场分布问题,不可能获得严格的解析解,必须通过计算机迭代法来求解:
然而,对于实际的波导,通常都会在平板上制作,在水平方向上具有对称性。
不过,问题还是很难解析。
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 6
矩形介质波导 – 模式求解问题
一种使问题容易解决方法就是忽略四个角落区域:
这种情况下如果n1 = n4,就可以求解,然而这个条件局限很大。有种最通用、直观有效的方法叫做“有效折射率”法。在这个近似过程中,我们把问题分解为三个平板波导的求解问题:首先,两个竖直方向上的波导,最后,一个水平方向上的波导问题。
(下一页继续)
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 7
矩形介电波导 – 有效折射率法
我们将矩形波导看成由两种不同的平板波导组成,然后分别计算每种的模式传播有效折射率:
竖直平板 1:
竖直平板 2:
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 8
矩形介质波导 – 有效折射率,续
然后,我们利用上面的“层”构造第三条,水平方向的平板波导。
层2被两个层1约束在中间,用有效折射率来代替各层的折射率。
这是一个对称的平板波导结构,它的求解众所周知,在文*中有完整的列表。
这种方法同样可用于非对称的平板波导(竖直波导的求解参照前一页)。
*参考P. Bhattacharya的Semiconductor Optical Devices中附录7和8, ISBN 0-13-805748-6, TK8320.B52 1994。
这种方法给出了精确有效的结果,当考虑实际波导的时候,是非常直观和有帮助的。
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 9
矩形介电波导 – 有用的结构
许多有用的结构和器件可以由矩形介电波导组成:
无源结构
– 弯曲 – 拐角
–分束器/复合器 –耦合器
–线内滤波器 –增删滤波器
有源结构
–开关 –调制器
我们将对每一种结构进行阐述,有些更深入一些 (有源器件稍后说明)
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 10
矩形介电波导 – 弯曲
矩形介电波导弯曲时,
将会发生弯曲损耗,
如右图所示: (图删除)
See Coldren, L.A., Corzine, S. W. Diode Lasers and Photonic Integrated Circuits, Editor Kai
Chang, Wiley, pg. 335, Fig. 7.24.
我们的目标是通过渐变的轮廓来获得较小的损耗。
关于这方面,存在波导制作水平限制(∆n)和弯曲 半径之间的平衡关系:
里面的常数跟波导的结构有关:
C. G. Fonstad, 4/03 (下一页继续) Lecture 17 - Slide 11
矩形介电波导 – 弯曲(续)
方程中的变量说明如下:
β : 波导z方向上的传播常数 kxg : 波导x方向上的传播常数 kxL : 波导外界区域的衰减常数 2w : 波导的宽度
ng : 波导内部的折射率
nL: 波导外界的折射率
由于突然的转弯制作起来相当困难,光波导的设计看起来,与其说像城市的街道和十字路口,不如说更像铁路岔道口。
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 12
矩形介电波导 - 粗糙边缘损耗
将光紧紧约束在波导内部,也就是说,增大?n,可以在相同圆弧半径下获得更少的弯曲损耗,然而,这同时也意味着
1. 单模波导必须更细更窄
2. 波导损耗将对边缘散射更加敏感
Tien [Appl. Opt. 10 (1971) 2395] 的发现:
如果我们模拟侧面粗糙的情况时,参数为:
neff: 波导中模的有效折射率
weff: 波导的有效宽度, 定义为w + 2kxL-1 θ: 模在边界上的入射角
当考虑基底和波导表面的粗糙造成的损耗时,
可以用有效厚度替换上面的宽度,teff为 t + kysub -1+ kysurf-1 .
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 13
矩形介电波导
弯曲半径、散射损耗、波导尺寸以及折射率差的相互均衡问题
(图删除)
See Kimmerling. MARCO Review. October 2002.
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 14
设计实现紧凑的矩形波导
弯曲
计算得到的 传输因子:
a. 30% b. 60% c. 98.5% d. 98%
(图删除)
See C. Manolatou, S.G. Johnson, S. Fan, P.R. Villeneuve, H.A. Haus, and J.D. Joanopolous,"High-Density Integrated Optics," IEEE J. Lightwave Technology, 17
(1999) 1682-1692.
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 15
矩形介质波导 -分束器,复用器
另一种有用的结构将光信号等强度分为两个信号。值得注意的是,波导在展宽到分叉之前已经变成多模。最低阶模被展宽,而它的能量必须耦合到两个更窄的支路波导低阶模里面。这是造成衰减的一个明显过程。通过缩小两路分支的夹角,φ
,可以避免分束损耗过大:
Equation and figure from Zappe, p. 210. Eq. Ref: M. Kuznetsov, "Radiation Losses in Dielectric Waveguide Y-Branch Structures, IEEE J. Lightwave Tech. LT-3 (1985) 674-6777.
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 16
设计实现紧凑的矩形波导
T型分束
计算得到的传输因子: a. 30% (15 %/side) b. 99% (> 49%/side)
(图删除)
See C. Manolatou, S.G. Johnson, S. Fan, P.R. Villeneuve, H.A. Haus, and J.D. Joanopolous,"High-Density Integrated Optics," IEEE J. Lightwave Technology, 17 (1999) 1682-1692.
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 16 - Slide 5
矩形介电波导 – 波导耦合器
?在一对结合在一起的波导里,有两个最低阶模以微小的速度差沿着
波导一起传播
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 -Slide 19 平面波导集成光学元件
?共振环耦合器和通道下路滤波器
当时
(图删除)
See Figs. 1 and 12 in E.A.J. Marcatili, "Bends in Optical Dielectric Guides,"
Bell Syst. Tech. J. 48 (1969) 2103-2132.
现在
(图删除)
See B.E. Little et al, "Vertically Coupled Glass Microring Resonator Channel Dropping Filters," IEEE Photonics Tech. Lett. 11 (1999) 215.
(Image deleted)
See S.T. Chu et al, "An Eight-Channel Add-Drop Filter Using Vertically Coupled Microring Resonators over a Cross Grid," IEEE Photonics Tech. Lett. 11 (1999) 691.
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 20
光子晶体 – Yablonvich的原始设想
具有光子带隙的三维结构:
将落于能带中的光全部反射出去的固体
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 21
光子晶体 - Axel Scherer
矩形介质波导结构:
示例中利用光子带隙的概念制造弯曲
(图删除)
See Fig. 4 and Table II in Cheng, C. C., and A. Scherer. "Lithographic Band
Gap Tuning in Photonic Bandgap Crystals." J. Vac. Sci. Technol. B 14 (1996): 4110-4114.
右边: 结构和制作流程 下面: 性能
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 22
6.772/SMA5111 -化合物半导体
Lecture 17 –矩形波导/光子晶体和辐射复合 – 概要 介质光学 (继续Lecture16的讨论)
平板型波导
矩形波导的组合结构 耦合器,滤波器,开关
光子晶体
历史: 光子带隙和Eli Yablonovich, 至今 一维光子晶体
分布式布喇格反射器 光子光纤; 完美的反射器
二维光子晶体
光波导结构 缺陷等级
二维光子晶体
复合过程 ( LED 和 LD 的预备知识)
辐射型和无辐射型 相对载流子寿命
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 1 半导体中的吸收 -间接能带间的跃迁
有声子参与的间接带隙吸收
声学声子和光学声子的色散曲线
几种半导体光声子的近似能量
Ge: 37 meV Si: 63 meV GaAs: 36 meV
(Swaminathan and Macrander)
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 15 - Slide 2
平板介电波导
TE-模的本质 (电场只有y方向分量). 对于平板波导中的j阶模,电场强
度如下:
在这个方程里:
ω: 频率/光的能量
2πω=υ=c/λ0 λ0: 自由空间里的波长 βj: j阶模的传播常数 Xj(x):平板横截面内的模,
满足:
这里:
ni: 区域 i 里的折射率
k0 : 自由空间里的传播常数
k0=2π/λ0
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 3
平板介电波导
在处理平板波导的问题时,我们假设波导中各区域的尺寸和折射率,以及自由空间中的光波长或频率已知,所需要求解的为波导中的传播常数,βj. 我们发现,只有βj取某些离散值时,方程Xj(x)才有解。且每一个值对应着平板中存在的一个模。
在波导方程里面,我们希望在平板上下两个区域里,βj
满足
平板内部满足
当这些条件得到满足时,Xj(x)将,在波导外围空间,为逐渐衰减的 指数函数,在波导里面,为正弦函数,并且模式受到限制。
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 4
平板介电波导
对称/非对称波导里面的模式和图表
(图删除)
见 Figures 4-5, 4-7, 4-8, and 4-9 in Palais, Joseph C. Fiber Optic Communications.
4th ed. Upper Saddle River, N.J. : Prentice Hall, 1998. C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 -Slide 5
矩形介电波导 – 模式求解问题
通常,任意矩形波导的场分布问题,不可能获得严格的解析解,必须通过计算机迭代法来求解:
然而,对于实际的波导,通常都会在平板上制作,在水平方向上具有对称性。
不过,问题还是很难解析。
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 6
矩形介质波导 – 模式求解问题
一种使问题容易解决方法就是忽略四个角落区域:
这种情况下如果n1 = n4,就可以求解,然而这个条件局限很大。有种最通用、直观有效的方法叫做“有效折射率”法。在这个近似过程中,我们把问题分解为三个平板波导的求解问题:首先,两个竖直方向上的波导,最后,一个水平方向上的波导问题。
(下一页继续)
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 7
矩形介电波导 – 有效折射率法
我们将矩形波导看成由两种不同的平板波导组成,然后分别计算每种的模式传播有效折射率:
竖直平板 1:
竖直平板 2:
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 8
矩形介质波导 – 有效折射率,续
然后,我们利用上面的“层”构造第三条,水平方向的平板波导。
层2被两个层1约束在中间,用有效折射率来代替各层的折射率。
这是一个对称的平板波导结构,它的求解众所周知,在文*中有完整的列表。
这种方法同样可用于非对称的平板波导(竖直波导的求解参照前一页)。
*参考P. Bhattacharya的Semiconductor Optical Devices中附录7和8, ISBN 0-13-805748-6, TK8320.B52 1994。
这种方法给出了精确有效的结果,当考虑实际波导的时候,是非常直观和有帮助的。
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 9
矩形介电波导 – 有用的结构
许多有用的结构和器件可以由矩形介电波导组成:
无源结构
– 弯曲 – 拐角
–分束器/复合器 –耦合器
–线内滤波器 –增删滤波器
有源结构
–开关 –调制器
我们将对每一种结构进行阐述,有些更深入一些 (有源器件稍后说明)
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 10
矩形介电波导 – 弯曲
矩形介电波导弯曲时,
将会发生弯曲损耗,
如右图所示: (图删除)
See Coldren, L.A., Corzine, S. W. Diode Lasers and Photonic Integrated Circuits, Editor Kai
Chang, Wiley, pg. 335, Fig. 7.24.
我们的目标是通过渐变的轮廓来获得较小的损耗。
关于这方面,存在波导制作水平限制(∆n)和弯曲 半径之间的平衡关系:
里面的常数跟波导的结构有关:
C. G. Fonstad, 4/03 (下一页继续) Lecture 17 - Slide 11
矩形介电波导 – 弯曲(续)
方程中的变量说明如下:
β : 波导z方向上的传播常数 kxg : 波导x方向上的传播常数 kxL : 波导外界区域的衰减常数 2w : 波导的宽度
ng : 波导内部的折射率
nL: 波导外界的折射率
由于突然的转弯制作起来相当困难,光波导的设计看起来,与其说像城市的街道和十字路口,不如说更像铁路岔道口。
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 12
矩形介电波导 - 粗糙边缘损耗
将光紧紧约束在波导内部,也就是说,增大?n,可以在相同圆弧半径下获得更少的弯曲损耗,然而,这同时也意味着
1. 单模波导必须更细更窄
2. 波导损耗将对边缘散射更加敏感
Tien [Appl. Opt. 10 (1971) 2395] 的发现:
如果我们模拟侧面粗糙的情况时,参数为:
neff: 波导中模的有效折射率
weff: 波导的有效宽度, 定义为w + 2kxL-1 θ: 模在边界上的入射角
当考虑基底和波导表面的粗糙造成的损耗时,
可以用有效厚度替换上面的宽度,teff为 t + kysub -1+ kysurf-1 .
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 13
矩形介电波导
弯曲半径、散射损耗、波导尺寸以及折射率差的相互均衡问题
(图删除)
See Kimmerling. MARCO Review. October 2002.
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 14
设计实现紧凑的矩形波导
弯曲
计算得到的 传输因子:
a. 30% b. 60% c. 98.5% d. 98%
(图删除)
See C. Manolatou, S.G. Johnson, S. Fan, P.R. Villeneuve, H.A. Haus, and J.D. Joanopolous,"High-Density Integrated Optics," IEEE J. Lightwave Technology, 17
(1999) 1682-1692.
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 15
矩形介质波导 -分束器,复用器
另一种有用的结构将光信号等强度分为两个信号。值得注意的是,波导在展宽到分叉之前已经变成多模。最低阶模被展宽,而它的能量必须耦合到两个更窄的支路波导低阶模里面。这是造成衰减的一个明显过程。通过缩小两路分支的夹角,φ
,可以避免分束损耗过大:
Equation and figure from Zappe, p. 210. Eq. Ref: M. Kuznetsov, "Radiation Losses in Dielectric Waveguide Y-Branch Structures, IEEE J. Lightwave Tech. LT-3 (1985) 674-6777.
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 16
设计实现紧凑的矩形波导
T型分束
计算得到的传输因子: a. 30% (15 %/side) b. 99% (> 49%/side)
(图删除)
See C. Manolatou, S.G. Johnson, S. Fan, P.R. Villeneuve, H.A. Haus, and J.D. Joanopolous,"High-Density Integrated Optics," IEEE J. Lightwave Technology, 17 (1999) 1682-1692.
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 16 - Slide 5
矩形介电波导 – 波导耦合器
?在一对结合在一起的波导里,有两个最低阶模以微小的速度差沿着
波导一起传播
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 -Slide 19 平面波导集成光学元件
?共振环耦合器和通道下路滤波器
当时
(图删除)
See Figs. 1 and 12 in E.A.J. Marcatili, "Bends in Optical Dielectric Guides,"
Bell Syst. Tech. J. 48 (1969) 2103-2132.
现在
(图删除)
See B.E. Little et al, "Vertically Coupled Glass Microring Resonator Channel Dropping Filters," IEEE Photonics Tech. Lett. 11 (1999) 215.
(Image deleted)
See S.T. Chu et al, "An Eight-Channel Add-Drop Filter Using Vertically Coupled Microring Resonators over a Cross Grid," IEEE Photonics Tech. Lett. 11 (1999) 691.
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 20
光子晶体 – Yablonvich的原始设想
具有光子带隙的三维结构:
将落于能带中的光全部反射出去的固体
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 21
光子晶体 - Axel Scherer
矩形介质波导结构:
示例中利用光子带隙的概念制造弯曲
(图删除)
See Fig. 4 and Table II in Cheng, C. C., and A. Scherer. "Lithographic Band
Gap Tuning in Photonic Bandgap Crystals." J. Vac. Sci. Technol. B 14 (1996): 4110-4114.
右边: 结构和制作流程 下面: 性能
C. G. Fonstad, 4/03 Lecture 17 - Slide 22