压力传感器的应用电路设计

文章编号:100226061(2002)0520012203

压阻式压力传感器及其应用电路设计

才滢,毕鹏

(92493部队89分队,辽宁葫芦岛125000)

　　摘　要:介绍了压阻式传感器的工作原理以及相关应用电路,并给出了一个应用示例

加以说明。

关键词:传感器;压阻;应变

中图分类号:TP21219　　文献标识码:B　　

Pressure-resistanceTypePressureSensorandDesignofItsApplicationCircuit

CaiYeng,BiPeng

(NavalMetrologyandTestCenter,Huludao125000,China)

Abstract:Theoperatingprincipleandrelativeapplicationcircuitofpressure2resis2.Andanappliedexampleisgiventoshowalloftancesensorarepresentedinthispaperthose.

Keywords:sensor;pressure2resistance;strain

　　目前,压力传感器种类很多,有振动筒式、

石英波登管式、压阻式、应变片式等多种。其中振动筒式压力传感器虽然不确定度可达012%FS,但它仅适用于测量以气体为介质的压力,测压范围很小;石英波登管式压力传感器不确定度能达到0102%,测压范围也很大,可达60成本高;MPa以上,但这种传感器结构复杂、

应变式压力传感器测量上限一般不超过25MPa,不确定度为1%FS,目前市场上有上限达60MPa的这类压力传感器,但制作工艺较差,可靠性低,特别是1MPa以下的传感器,不确定度很难达到0104%FS;压阻式压力传感器利用单晶硅的压阻效应制成,它采用集成电路工艺,结构简单,测压上限可达到60MPa,具有工作可靠、耐腐性、抗干扰能力强等特点,国内有些厂家利用美国生产的传感器芯片,加上严格的组装工艺,其不确定度可达0104%FS以上,在压力测量领域得到了较广泛的应用。

1　压阻式传感器

电阻式传感器是将输入的机械量应变Ε转换为电阻值变化的变换元件。电阻变换器的输入量为应变Ε=∃L